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      “中国芯”关键宝博国产化

      三甲硅烷基胺 （TSA）
      • 中文名：三甲硅烷基胺
      • 英文名：Trisilylamine
      • CAS号：13862-16-3
      • 用途：通过流动化学气相沉积（FCVD）形成氧化硅
      • 纯度指标：99.65%
      • 规格：公斤级
      二异丙氨基硅烷 （DIPAS）
      • 中文名： 二异丙氨基硅烷
      • 英文名：Diisopropylaminosilane
      • CAS号：908831-34-5
      • 用途：形成晶种
      • 纯度指标：8N
      • 规格：公斤级
      四氯化钛 （Ticl?）
      • 中文名：四氯化钛
      • 英文名：Titanium tetrachloride
      • CAS号：7550-45-0
      • 熔点：-25℃
      • 沸点：135 - 136 °C
      • 蒸气压：12.8 hPa 在 20 °C
      • 产品等级：6N
      • 规格：15kg
      四乙氧基硅烷 （TEOS）
      • 中文名：四乙氧基硅烷
      • 英文名：Tetraethoxysilane
      • CAS号：1978-10-4
      • 熔点：-82.49℃
      • 沸点：168°C
      • 蒸气压：10.0 hPa 在 20℃
      • 产品等级：9N
      • 规格：17.7kg、35kg、200kg
      双（二乙氨基）硅烷 （BDEAS）
      • 中文名： 双（二乙氨基）硅烷
      • 英文名：Bis(diethylamino)silane
      • CAS号：27804-64-4
      • 熔点：＜-10℃
      • 沸点：188℃
      • 产品等级：5N
      • 规格：10kg
      六氯乙硅烷（HCDS）
      • 中文名：六氯乙硅烷
      • 英文名：Hexachlorodisilane
      • CAS号：13465-77-5
      • 沸点：144 - 145.5℃
      • 产品等级：6N
      • 规格：13kg
      八甲基环四硅氧烷 (OMCTS)
      • 中文名：八甲基环四硅氧烷
      • 英文名：Octamethyl cyclotetrasiloxane
      • CAS号：556-67-2
      • 熔点：17-19℃
      • 沸点：175-176℃
      • 蒸气压：1 mmHg (21.7℃)
      • 产品等级：7N5
      • 规格：10kg、18kg、200kg
      四甲基硅烷 （4MS）
      • 中文名：四甲基硅烷
      • 英文名：Tetramethylsilane
      • CAS号：75-76-3
      • 熔点：-99℃
      • 沸点：26-28℃
      • 产品等级：7N5
      • 规格：10kg、20kg、110kg、125kg
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